mems芯片

MEMS芯片（Micro-Electro-Mechanical Systems）是集成电子技术、微机械制造技术和传感器技术于一体的微型机电系统芯片。它是在半导体芯片上制造出微观结构，包括微小机械、传感器、执行器、光学和电学元件等。

1.MEMS芯片是什么意思

MEMS芯片是通过微机电系统技术在晶圆上制造出微小机械和电子元器件而形成的芯片，也称为微机电系统芯片(Micro-Electro-Mechanical Systems)。

2.MEMS芯片工艺制程

MEMS芯片从设计到制造需要经历多个步骤。最常用的MEMS芯片制造方法是集成式微加工技术，该技术主要分为：前端工艺和后端封装工艺。其中，前端工艺主要包含晶圆清洗、光刻、蚀刻等步骤；后端封装工艺主要包含测试、封装和成品检测。

3.MEMS芯片和集成电路芯片区别

MEMS芯片和集成电路芯片虽然都是在半导体晶片上的微型元件，但二者还是有些区别。相比于集成电路芯片，MEMS芯片通过微机械结构控制物理现象并转换为电信号输出，能够实现机械与电子之间的互动。集成电路芯片主要利用电流、电磁等方式传输信号。