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成果简介
飞秒激光双光子聚合系统将飞秒激光双光子聚合技术与逐点3D打印工作方式相结合,实现亚微米级空间分辨率的打印精度。该系统适合对于多种结构器件进行增材制造,适用于高等院校及科研院所进行微纳光学、集成光学、微机械、微流控以及生物兼容性器件等方向研究。
吉林大学超快激光精密加工团队获省部级科学技术一等奖3项,国家自然科学二等奖1项(2020年)。研究团队依托集成光电子学国家重点实验室,已完成《超快激光与材料相互作用多尺度理论与观测》,《面向跨尺度飞秒激光加工的微区形态性能原位监测与分析系统研制》《飞秒激光高速、大视场微纳制造的新方法及其机理研究》等科技部或国家自然基金委重大研发项目。研究团队拥有近20年飞秒激光加工技术累积,对软材料SU8光刻胶,硬质材料包括玻璃、蓝宝石、石英、硅、金刚石、硫化锌等有雄厚的加工技术积淀。
应用领域
微纳光学、集成光学、微机械、微流控以及生物兼容性器件等方向研究。
知识产权情况
已申请发明专利8项,获批3项。
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