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成果简介
光学相控阵芯片能够控制光束空间扫描,在激光雷达、三维扫描、三维成像、激光测距等领域具有重要应用。本成果是一种硅和氮化硅混合光波导的,大角度扫描、窄发散角的光学相控阵芯片,集成了光耦合器、分束器、PN结型和热光型相位调制器、单波导双光栅单向辐射器等。目前光束发散角0.021度×0.027度,横向市场扫描角度可以达到140度,纵向通过调节波长,可以达到19度,点点切换时间30微秒,平均功耗小于1微瓦。
应用领域
激光雷达,三维扫描,三维成像,激光测距。
知识产权情况
授权发明专利2项
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