检方介入，三星尖端半导体设备遭“内鬼盗卖”给中企

5月17日，据韩媒KoreaHerald报道，三星电子子公司及其半导体设备供应商Semes的前雇员因涉嫌参与技术盗窃而被起诉。

图：Semes的晶圆清洗机

芯片大师曾报道交期30个月！曝多家晶圆厂紧急赴海外“催货”，随着各大设备厂交期大幅延长，市场上的二手半导体设备价格迎来暴涨。

根据水原地方检察厅的说法，韩国最大半导体设备制造商、三星供应商Semes的两名前雇员涉嫌参与向一家未公开的中国实体出售关键的晶圆清洗机，而该设备据信为来自Semes的尖端晶圆清洗机。

在涉案的四名Semes员工中，一位被检察官以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》的罪名起诉，调查尚在进行中。据报道，被指控“技术盗窃”的人通过出售设备获得了大约800亿韩元（约6260万美元）的回报。

图：晶圆厂产线

这些机器被认为是三星尖端半导体芯片技术的关键。在芯片制造过程的最初阶段，使用清洗设备保持晶圆的清洁至关重要。随着晶圆变得更薄，该工艺需要更复杂的方法。

而克服技术障碍的方法之一是让设备使用超临界流体状态的二氧化碳来清洁晶圆，与使用其他流体（如超纯水）进行清洁相比，这可以减少对晶圆的损坏。

据悉，Semes是世界上第一家开发该技术的公司，搭载该技术的晶圆清洗机器被独家供应给三星电子，专门用于存储芯片、处理器芯片和晶圆代工业务。

三星在Semes拥有超过90%的股份，Semes成立于1993年的企业，是目前韩国最大的半导体设备商，主要从事半导体前端核心工序设备的生产。

而最近一两年，该公司的蚀刻设备开始取代日本东京电子，大规模应用于三星的V-NAND闪存工厂，尤其是100层以上的高端产品。