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集微网消息，3月29日，清华大学发布等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。
图源：清华大学设备采购信息发布平台
该公告显示，清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标，欲采购1套等离子体刻蚀机，采购预算为165万元。该等离子体刻蚀机将用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。（校对/若冰）
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