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7月22日，据上交所披露公告显示，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称：华卓精科）将于7月29日科创板首发上会。
华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商。公司以光刻机双工件台这一超精密机械领域的尖端产品为核心，并以该产品的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品，以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品，应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业。
光刻机双工件台独供上海微电子
当前，光刻机主要被荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等外国厂商长期垄断，其中ASML就独占70%以上市场份额，其最先进的光刻机工艺制程为7nm。
虽然我国光刻机研发起步较，但在持续攻坚的努力下，国产光刻机龙头企业上海微电子在低端光刻机市场占据了一定的市场地位，目前该公司最先进的光刻机工艺制程为90nm，预计2021-2022年交付第一台28nm工艺制程的国产沉浸式光刻机。
需要指出的是，要实现光刻机的国产替代并不是上海微电子一家企业能够单独完成的，需要光刻产业链企业的相互配合。光刻产业链可拆分为两个部分，一是光刻机核心组件，包括光源、镜头、双工作台、浸没系统等关键子系统，二是光刻配套设施，包括光刻胶、光掩模版、涂胶显影设备等。
其中，华卓精科主要为上海微电子提供光刻机双工件台，其主要功能是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等。
不过，从华卓精科招股说明书来看，公司光刻机双工件台2017年和2018年营业收入分别是1521.37万元、795万元，占整体营业收入的比重较小，2019年却没有实现任何营收。这也意味着，2019年华卓精科没有顺利量产出货光刻机双工件台。
数据来源：华卓精科招股说明书
对此，华卓精科表述，主要是目前光刻机双工件台仍处于小量定制生产阶段，尚未实现规模化量产，所以对公司收入贡献比较小。
