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剩余调频
在频谱分析仪的技术参数规格书中一般都会有剩余调频这一项指标。
剩余调频测量的是同一频率下测量时抖动的差值，其实是反应频率分辨率的一个指标，产生的原因主要是本振信号抖动不稳，通常发生在第一本振。第一本振可由多个VCO覆盖，不同的VCO负责不同的频率段。VCO叫压控振荡器，是一种典型的没有输入却产生输出的非线性器件。VCO通常由变容管、振荡管以及其他元器件组成的采用正电压供电的负阻谐振电路。振荡器的指标包含有：输出频率、输出功率、谐波、相位噪声等。通过输入压控电压的不同来改变变容管的电容值，从而使得输出的振荡频率不同。
最小可用分辨率带宽通常由分析仪中本振的稳定度和剩余调频决定。早期的频谱仪设计使用不稳定的 YIG （钇铁石榴石）振荡器，通常具有大约 1 kHz 的残余调频。由于这种不稳定性被传递给与本振相关的混频分量，再将分辨率带宽减小至1KHz以下是没有意义的，因为不可能确定这种不稳定性的准确来源。不过现代分析仪已经极大的改善了残余调频。
自校准信号
自校准信号是整机幅度的基准，不同厂家仪表的自校准信号可能会有不同，这个一般需要进入仪表的工厂模式才能看到。
自校准信号一般由本振信号分频得到。由于其幅度的准确度将直接影响整机的幅度测试，所以为了保证其幅度不随环境温度的变化而变化，该部分做了一个自动电平控制来稳定其幅度。自校准分为高低波段，分别进行校准。首先需要打开校准信号的电源，然后打开自校准信号通道，并选择需要校准的波段，使对应自校准信号进入RF通道，经过混频之后，测试其输出的中频信号的幅度，从而来进行整机幅度的校准。
衰减器分为固定衰减器和可调衰减器，固定衰减器一般由大功率的固定衰减片和开关组成。当参考电平大于一定数值时，自动切换到此固定衰减器，避免输入信号过大，导致混频器失真。当参考电平小于设置的值时，与之后的可变衰减器组合，来调整衰减量，充分满足测试要求。所以衰减器的作用主要是当测量高电平信号时，对信号进行衰减，保护频谱仪不受损坏。同时还可以改善仪器端口的匹配特性，提高测试的准性并提高频谱仪动态范围。但是当衰减器设置过大时，仪器的本底噪声会被抬高。
