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CINNO Research 产业资讯，日本光侦测器制造商浜松（Hamamatsu Photonics）研发了一款可快速检测晶圆上micro LED的外观、辉度、发光波长是否有异常的“MiNYTM PL micro LED PL 检测设备 C15740-01”。
采用光致发光测量技术（Photo Luminescence，以下简称为“PL”）来检测micro LED的异常问题，所用光致发光测量技术是基于滨松自主研发的成像模组（Imaging Module）和图像处理技术。
MiNYTM PL系统在检测Micro LED芯片时能够快速判断芯片是否合格，这有利于提升显示用Micro LED产品的良率及Micro LED的研发效率。。此外，有望在未来的量产中有效地进行全数检车（全面检测）。自3月8日（星期一）起，开始向日本国内外的LED厂家、显示屏厂家销售此产品。
注：PL测量法，即Photo Luminescence，通过图像显示光激发发光，以不接触、不破坏的方式评价LED等产品的特性。
研发背景
单边尺寸在100微米（以下简称为“um”，是一米的百万分之一）以下的LED被称为“micro LED”。与液晶、有机EL（OLED）等传统显示屏相比，micro LED具有高辉度、低功耗、长寿命的特点，因此作为新一代显示屏具有良好的市场前景，正在推进提高良率的研发工作。
通常LED是运用可视光图像进行外观检查，用测试针对准晶圆上数万个LED并通电，通过使LED发光来检测其发光特性（EL检测）。然而，一片晶圆上有数百万颗micro LED，就难以再运用EL检测来实现全数检测。此外，虽然也可以运用分光器来检测发光特性，但单次检测的范围有限，因此迫切需要一种可全数检测micro LED外观，且可以快速检测其辉度、发光波是否有异常的设备。
产品概要
本产品是一种依据可视光、PL两种图像来快速检测晶圆上micro LED外观、辉度、发光波长的设备。
将由micro LED形成的、直径约为150mm的晶圆置于本产品上，即可通过可视光获得micro LED的缺陷、伤痕等外观信息。然后，通过PL图像获得辉度、发光波长的信息，汇总并解析以上信息来判断产品是否为良品。
检测结果的印象图（图片来源：浜松官网）
此次，浜松通过利用其自主研发的光学零部件组成的特殊结构摄像头，研发了这款成像模组（Imaging Module），它可以同时获得晶圆上micro LED的辉度、发光波长、PL图像（不使用分光器）。此外，由于能够将强度均匀且稳定的光（相对于照射面而言）照射在micro LED上以获得PL图像，因此可以获得较准确的检测结果。运用独特的图像处理技术分析由成像模组获得的有关外观、辉度、发光波长的信息，从而成功研发了此款可快速检测micro LED异常的设备。
运用本产品快速检测micro LED的外观、辉度、发光波长并判断产品的良劣，可以推动研发效率以提高产品良率。此外，有望在未来的量产产线中有效地进行全数检测。
此外，在推进研发高速检测micro LED的设备的同时，将与韩国、中国、中国台湾等地的当地法人合作，以亚洲地区为中心扩大销售。
产品的主要特点
1、可同时高速检测辉度、发光波长。
利用PL测量法，不仅可以检查micro LED的外观，还可以高速检测辉度、发光波长是否有异常。
2、此款新设备使EL检测法下无法实现的全数检测成为可能。
由于EL检查法需要花费大量时间，因此无法做到全数检测micro LED。本系统通过快速地检测micro LED的外观、辉度、发光波长是否有异常，有望实现micro LED高效地全数检测。
3、通过在工艺中全数检测，提高产品良率。
利用本产品，可以在生产过程中全数检测micro LED，以检测结果为基础，改善设计、生产工艺，有望提高产品的良率。
主要规格
销售开始时间：2021年3月8日（星期一）
价格（不含税）：MiNYTM PL Micro LED PL检测设备 C15740-01， 100百万日元（约人民币610万元）。
目标销售数量：最初5台/年，三年后10台/年。
MiNYTMPL micro LED PL 检测设备C15740-01（ 图片来源：浜松官网）
