JSR完成对Inpria Corporation增资，加快极紫外光刻商业化

JSR 株式会社近日公布，已经完成对 Inpria Corporation （以下简称为：“Inpria 公司”）的增资。此次增加的投资将会成为 Inpria 公司 C 轮融资的一部分，而此次 C 轮融资是 Inpria 公司以推进 EUV 极紫外光刻的商业化为目的而募集的。

根据 JSR 官网报道，Inpria 公司自成立以来，一直致力于研发含有非化学放大类的极紫外光刻，现在，以锡氧化物为主要成分的光刻胶在学会团体的 EUV 曝光中已经达到了全球最高性能的极限分辨率。

通过此次出资，使得 JSR 与 Inpria 公司在多方面进行合作，以加快极紫外光刻的商业实用化。
 
Inpria 公司的发表内容如下（2020 年 2 月 20 日公布）

「EUV Photoresist Pioneer Inpria Raises $31 Million in Series C Funding Led by JSR Corporation - Expanded Investor Group Reflects Growing Industry Support-」

 
【Inpria 公司的概要】

公司名：Inpria Corporation

所在地：美国俄勒冈州科瓦利斯（Oregon State Corvallis）

公司代表：Andrew Grenville

业务内容：研发含有金属的 EUV Resist（极紫外光刻）

成立时间： 2007 年