知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:设备上常见的涂层有哪些?各有哪些作用?
什么是涂层?
涂层,是涂敷在晶圆,设备/配件上的表面的薄层,厚度从纳米到几微米不等,用于改变原有材料的性质,目的是为了保护、提升性能或实现某种特定功能的作用。
涂层的种类有哪些?
以设备/配件上的涂层为例,有:
| 涂层名称 | 应用区域 | 功能 |
| 等离子防蚀涂层(Y₂O₃, Al₂O₃) | 刻蚀腔体、shower head、ceramic part | 抗腐蚀、延长寿命 |
| 防粘附涂层(PTFE、DLC) | 涂胶显影设备、喷嘴 | 减少光刻胶残留 |
| 导电/防静电涂层(ITO) | 加热平台、静电吸盘 | 防止静电积聚,保护晶圆 |
| 热反射涂层 | 加热器或窗口片 | 提升能效,避免热量损失 |
| 抗划伤/耐磨涂层 | robot arm、夹具 | 降低颗粒、避免晶圆损伤 |
涂层用什么方式来做的?
以设备/配件上的涂层为例,
1,化学气相沉积(CVD),PVD
2、热喷涂技术
3、离子镀技术
4,电镀,化学镀
涂层需要考虑哪些性质?
1,厚度2,附着力3,表面自由能4,与底层材料的粘接力5,耐等离子气体能力6,金属离子率等
我认识不少做涂层的厂家,如有需求,可以私信我
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