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湿法设备如何选择合适的喷嘴?

03/06 14:25
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:喷嘴感觉都差不多,如何去选择呢?有什么区别吗?通常我们在选择喷嘴时,要考虑的因素有:喷嘴效率,液滴大小,喷雾角度,对晶圆的冲击力,喷雾模式等。

喷嘴效率

喷嘴效率是衡量喷嘴将输入的压力能 转化为输出动能的能力,公式为:

部分能量因摩擦和湍流而损失,这部分损失会降低喷嘴的效率。因此喷嘴效率在 55%到 95%之间。

喷雾的液滴大小

液滴大小直接影响喷雾效果、冷却效率、颗粒去除能力等。液滴大小受喷雾器结构,液体能量强度,液体表面张力,液体密度等影响。

喷雾角度

喷雾角度 是指液体通过喷嘴喷出时形成的锥形液流的开口角度。喷雾角度越大,喷雾覆盖的面积越广。在需要高冲击力的场景中(如颗粒去除、清洗),通常选择30°以下的窄喷雾角度。如果需要均匀喷洒,且冲击力需求不强时,可以采用90°以上的角度。

冲击力

冲击力是指喷嘴喷出的液流碰撞到目标表面时产生的力。可以通过增加喷射压力,减小喷嘴孔径,调整喷雾角,缩短喷洒距离来提高冲击力。

喷洒模式

喷嘴的喷洒模式有:实心流,全锥喷雾,空心锥喷雾,扁平喷雾,直线形等,见图

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