落地临港！千亿半导体龙头设立新基金

张通社 zhangtongshe.com

市值超过千亿的国内半导体设备龙头中微公司，有了新动作。

最新工商信息显示，由中微公司全资子公司中微半导体（上海）有限公司（以下简称“中微上海”）联合自然人刘晓宇、嘉兴富仁衡企业管理合伙企业（有限合伙）（以下简称“富仁衡”）共同发起设立的上海智微私募基金管理有限公司（以下简称“智微公司”），近日正式成立。

公开资料显示，智微公司成立于今年2月14日，注册资本为1000万元人民币，注册在临港新片区市场监督管理局。

持股45%发力半导体产业链上下游

设立新基金的消息，最早可以追溯至一个月之前。今年1月14日晚间，中微公司发布了《关于与关联方共同投资设立私募基金管理人暨关联交易的公告》。一个月后，新基金正式落地。

具体出资比例方面，智微公司注册资本为1000万元人民币，由中微上海、刘晓宇、富仁衡三家共同成立，其中中微上海、自然人刘晓宇分别出资450万元，分别持股45%；还有富仁衡出资100万元，持股10%。智微公司的总经理由刘晓宇担任。

中微公司称，与关联方共同投资设立从事私募基金管理业务的公司，有助于公司与其他社会资本合作，进一步拓展公司在产业链上下游的投资能力。

出资人方面，中微公司是国内半导体行业刻蚀设备龙头企业，于2004年在浦东金桥成立，公司主要产品包括CCP电容性等离子体刻蚀设备、ICP电感性等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备、薄膜沉积设备及MOCVD设备等，部分产品已批量用于全球7nm和5nm及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。

作为2019年首批科创板上市企业，截至2024年6月，中微公司累计申请专利已达2648项，已获授权专利1670项，其中发明专利占比高达85.87%，目前累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产和大规模重复性销售。

中微公司的客户遍布中国大陆和中国台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等10多个国家和地区，在全球范围内拥有2000多名员工，其中研发人员占比接近半数。

刘晓宇是中微公司第二届董事会副总经理、董事会秘书，富仁衡是由刘晓宇担任普通合伙人的有限合伙企业。

中微公司表示，刘晓宇过去20多年先后任职于中芯国际和中微公司，积累了丰富的经验，并建立了广泛的半导体行业联系，对半导体产业及资本市场有深入的理解。他在中微公司任职期间，负责中微公司的投资业务，参与项目30多个，涉及投资金额超过20亿元，投资案例包括拓荆科技等。与刘晓宇开展私募基金管理人的合作，能够充分发挥公司的资金和行业优势，进一步强化公司产业链上下游协作。

富仁衡是由刘晓宇、徐静共同设立的合伙企业。其中，刘晓宇担任普通合伙人、执行事务合伙人；徐静担任有限合伙人，同时其也是智微公司的投资负责人。

资料显示，徐静2020年加入中微公司，目前任中微公司投资总监。其在过去任职期间，参与投资项目总计超过50个，涉及投资金额超过40亿元，在半导体产业、通信技术、TMT、互联网+等领域有着丰富的投资经验。

中微公司表示，公司与半导体领域有着丰富投资经验的刘晓宇、徐静共同投资设立私募基金管理人，能够为未来开展投资项目提供价值研判，助力提升被投企业的市场竞争力。刘晓宇和徐静将持续激励相关人员，增强对智微公司的归属感、激发员工的创新精神和团队精神、促进智微公司的稳定发展。

业绩13年稳定增长，研发力度持续增强

设立新基金的背后，是中微公司作为行业龙头，持续13年的业绩稳定增长以及不断加大的研发力度。

2月27日晚间，中微公司发布2024年度业绩快报。据披露，公司2024年营业收入约90.65亿元，同比增长约44.73%。公司在过去13年保持营业收入年均增长大于35%，最近4年营业收入年均增长大于40%的基础上，2024年营业收入继续同比增长约44.73%。其中，2024年刻蚀设备收入约72.77亿元，在最近4年收入年均增长超过50%的基础上，2024年继续同比增长约54.73%。

同时，公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种LPCVD薄膜设备已经顺利进入市场，2024年收到约4.76亿元批量订单，实现销售收入已达到约1.56亿元；MOCVD设备销售约3.79亿元。公司2024年度实现归属于母公司所有者的扣非净利润约为13.88亿元，同比增加约16.52%。

谈及影响经营业绩的主要因素，中微公司分析称，近年随着人工智能、云计算、大数据、自动驾驶等新兴产业进一步加速发展，半导体微观加工设备作为数码产业的关键基石，其市场高速发展。公司主营产品的刻蚀设备、薄膜设备是半导体前道关键核心设备，市场空间广阔，技术壁垒较高。公司的刻蚀设备及薄膜设备持续获得众多客户的认可，针对芯片制造中关键工艺的高端产品新增付运量及销售额显著提升。

“公司始终强调技术创新并保持高强度的研发投入。目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破150个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。”中微公司表示。

在研发力度上，业绩快报显示，报告期内，根据市场及客户需求，中微公司显著加大研发力度，2024年在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。2024年公司研发投入约24.52亿元，同比增长约94.31%，研发投入占公司营业收入比例约为27.05%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。

可以说，稳定的业绩增长以及研发力度持续增强的共同加持下，中微公司对整合产业链上下游的需求格外凸显，这构成了本次设立新基金的原因之一。

数次布局临港

本次新基金注册地在临港新片区，这不是中微公司第一次在此布局。

2月24日，临港新片区管委会与超微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“超微公司”）签署战略合作协议，市委常委、临港新片区党工委书记、管委会主任陈金山出席仪式并见证签约。

超微公司主要从事电子束及光学量检测设备的研发与产业化，拟投资10亿元在临港建设电子束和光学量检测设备研发和制造基地项目，聚焦集成电路重大设备技术开发与产品市场化，并探索人工智能在图像处理、设备智能化方面的应用。

据企查查深度股权穿透分析，超微半导体的背后包括知名企业中微公司等4位股东，中微公司持股60%，为大股东。

另外根据中微公司的资料显示，目前公司在上海临港的约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用，支持了公司产品付运及销售快速增长的达成。同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强。

中微公司在临港密集布局的背后，是临港新片区集成电路产业蓬勃发展的一个缩影。集成电路是临港新片区“4+2+2”前沿产业体系的核心组成，涵盖设计、制造、设备、核心材料、封装等完整门类，是临港投资规模最大、集群效应最强、产业链布局最完善的核心产业，目前已集聚了300多家在国内外有影响力的集成电路企业。

临港新片区已落地集成电路设备整机、零部件及关键耗材企业有80余家，已覆盖涂胶显影设备、光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备、清洗设备、量检测设备、后道封装测试设备等环节，并延伸到阀门、腔体设备等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、抛光材料等关键耗材领域。

市场分析指出，此番中微公司选择再次将新基金落子临港新片区，正是看中了在临港新片区发展蓬勃的集成电路产业，能为其自身产业链上下游整合带来优势和便利。

作者｜袁益编辑｜吴晓晴