10亿元！中微公司加注临港

张通社 zhangtongshe.com

2月24日，临港新片区管委会与超微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“超微公司”）签署战略合作协议，市委常委、临港新片区党工委书记、管委会主任陈金山出席仪式并见证签约。

超微公司主要从事电子束及光学量检测设备的研发与产业化，拟投资10亿元在临港建设电子束和光学量检测设备研发和制造基地项目，聚焦集成电路重大设备技术开发与产品市场化，并探索人工智能在图像处理、设备智能化方面的应用。

超微公司于2024年11月在上海临港新片区成立，注册资本达4250万元人民币。该企业由半导体领域的资深领航者尹志尧亲自挂帅担任法人代表。

工商信息显示，超微半导体的业务版图涵盖了半导体器件专用设备销售、电子专用设备销售及专业设备维修服务等关键领域。

据企查查深度股权穿透分析，超微半导体的背后包括知名企业中微公司等4位股东，中微公司持股60%，为大股东。

官网显示，中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。

中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。

作为2019年首批科创板上市企业，截至2024年6月，中微公司累计申请专利已达2648项，已获授权专利1670项，其中发明专利占比高达85.87%，目前累计已有超5000个反应台在国内外130多条生产线实现量产和大规模重复性销售。

中微公司的客户遍布中国大陆和中国台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等10多个国家和地区，在全球范围内拥有2000多名员工，其中研发人员占比接近半数。

超微半导体在临港新片区的成立与投资建设，不仅是中微公司新的布局，也是临港新片区集成电路产业蓬勃发展的一个缩影。

集成电路是临港新片区“4+2+2”前沿产业体系的核心组成，涵盖设计、制造、设备、核心材料、封装等完整门类，是临港投资规模最大、集群效应最强、产业链布局最完善的核心产业，目前已集聚了300多家在国内外有影响力的集成电路企业。

临港新片区已落地集成电路设备整机、零部件及关键耗材企业有80余家，已覆盖涂胶显影设备、光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备、清洗设备、量检测设备、后道封装测试设备等环节，并延伸到阀门、腔体设备等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、抛光材料等关键耗材领域。

2021年，中微公司正式启动了中微临港产业化基地、中微临港总部和研发基地的建设。2024年8月2日，中微公司临港产业化基地项目正式投入使用，占地157亩，总建筑面积约18万平方米，配备行业领先的实验室、业界高标准的洁净室、先进的生产车间及智能化立体仓库等设施，可实现生产全程数字化、智能化管理，为中微公司最大的生产制造基地。

在启用仪式上，中微公司表示，整合产业链上下游相关资源也是公司面向未来发展的一项发力点，通过积极考虑投资和并购，推动该公司更快发展。中微公司预计，在未来的五到十年，将通过自主研发以及携手行业合作伙伴，覆盖集成电路关键领域50%至60%的设备。

串珠成链，集链成群。企业的集聚、生态的完整、政策的扶持，都让临港新片区逐渐成为半导体产业发展的热土，未来也将吸引越来越多的企业在此集聚发展。

编辑｜刘程星