为什么采用多晶硅作为栅极材料？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：为什么栅极的材料采用多晶硅？多晶硅栅的优势有哪些？

栅极材料的变化？

如上图，gate就是栅极，栅极由最开始的铝栅，到多晶硅栅，再到HKMG工艺中的金属栅极。

栅极的作用？

栅极的主要作用是控制晶体管中的沟道的电流。栅极电压的变化使得晶体管在导通和关闭状态之间切换。

多晶硅栅的优势？

1，多晶硅耐高温。在源漏离子注入后，需要高温退火。而铝栅的熔点在六百多摄氏度。而高温退火过程中，多晶硅栅能够保持较好的稳定性，不易受到影响。2，可以作为离子注入的遮蔽层，实现多晶硅栅与源漏的自对准，这样就不会出现栅极和源漏套刻不对齐的问题。

3，可以通过掺杂来提高阈值电压。多晶硅栅通过控制其掺杂物的种类和浓度，能够调节工作函数，从而精确控制阈值电压。

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