puddle式显影有什么优势？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：显影有几种方式？puddle式的显影是什么样的？有什么优势？

显影的三种主流方式？

一般分为puddle式，浸泡式，喷洒式显影。

浸泡式：将整个晶圆完全浸入显影液。可以通过晃动，搅拌等方式来提升显影的均匀性和显影速率。此方式多以手动为主，常见于实验室。

喷洒式：将显影液通过喷雾的方式均匀地喷洒到晶圆表面，下方的晶圆以一定的转速旋转。旋转的离心力，使新鲜显影液不断流经整个晶圆表面。

puddle式：

1，显影液喷洒在晶圆表面，晶圆缓慢转动，使整个晶圆都覆盖完全显影液。

2，使光刻胶与显影液反应充分。

3，增加晶圆转速，将晶圆表面的显影液甩掉

4，重复步骤1，2，3，直至显影反应完全。

5，喷洒超纯水，甩干

1，减少显影液浪费。上文提到的浸泡式显影，浪费巨大。

2，适合厚胶显影。具有很高的显影效率和光刻胶图形形貌垂直度。

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