“Fab Out”是半导体制造过程中的一个重要里程碑。为了帮助更好地理解这个概念,可以将其比喻为一部复杂电影的制作过程,直到最终影片从编辑室离开并准备好进行首映的阶段。
1、Fab Out——“电影完成走出编辑室”
筹备与拍摄阶段(前期制造工序):
在电影中,这对应于剧本准备、拍摄和录制阶段。在晶圆制造中,这个阶段包括设计电路、准备原材料、进行晶圆切割等。
前期的光刻、蚀刻、掺杂等工艺,类似于拍摄过程中每个镜头、对话和场景的拍摄,都是为了达到最终产品所需的标准。
特殊效果与后期制作(中间关键工艺):
在电影中,后期制作和特效加入是为了让影片更具观赏性。这类似于在晶圆制造后期进行的复杂工艺步骤,如化学机械抛光(CMP)、膜层沉积和复杂的图案化。
每一个步骤都是为了确保最终产品的性能和可靠性,保证其达到设计规格。
编辑与剪辑完成(制造完成):
这一步类似于电影编辑过程中逐帧剪辑调色,确保影片流畅且符合导演意图。而在晶圆制造中,这对应于完成所有规定的工艺步骤,并且确保所有的处理都符合设计参数。
在这一阶段,会进行严格的质量控制和抽样测试,以确保每一个晶圆片都没有缺陷。
“影片完成,准备首映”(Fab Out):
最终,影片被打包好,离开了编辑室。对于晶圆,这个时刻被称为Fab Out,意味着晶圆已经完成了在FAB(制造厂)的所有工艺处理。
就像电影准备在首映前为观众展示一样,晶圆此时准备进行最关键的测试,以评估其成功完成制造,并准备移交给下游测试和应用。
2、后续处理(WAT和CP测试)
WAT(Wafer Acceptance Test)——“试映前的排片”:
影片完成后,会进行内部审查和小范围试映,确保影片质量。同样,“Fab Out”后的第一个步骤就是进行晶圆接受测试(WAT),评估每个晶圆的基本电特性和外观指标。
CP(Chip Probing)——“细致的影评与评分”:
在影片上映前,面对评论家的审视,同样,每个芯片进行探针测试(CP),以检测功能和性能,比如测试晶体管开关速度和集成电路功能。
这个步骤确保只有符合性能标准的芯片会进入下游组装和封装阶段。
总结。通过电影制作为比喻,“Fab Out”基于复杂精细的流程在制造厂中完成了所有设计步骤,确保晶圆达到了物理和电气特性要求。此时,晶圆相当于一个完成拍摄和后期制作的电影,准备经过检测与校对,进而公开展示或者部署到实用应用中。这个比喻有助于形象理解半导体制造过程中各个步骤的重要性,以及“Fab Out”作为整个过程中的一个关键点。
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