干法刻蚀使用脉冲电源的好处？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：相对于连续波的电源模式，脉冲模式的优势有哪些？

什么是脉冲与连续波电源模式？

如上图，第一个为CW，Continuous Wave,连续波。CW模式下，电源输出是一个连续的波形，没有断断续续的脉冲。第二个为PW，Pulsed Power，脉冲波。PW模式下，电源的输出功率部分时间内处于关闭状态，部分时间属于打开状态。

脉冲电源的特点？

1，间隔性工作，可以及时将热量等散出，能够使反应物有时间运输到晶圆表面

2，输出功率能够加到很大，持续时间极短，能够很精确地控制脉冲功率，频率，时间等

使用脉冲模式的好处？

1，消除微负载效应。在高深宽比的结构刻蚀中，如深孔或深槽。较小尺寸的孔或槽刻蚀速率小于较大尺寸的孔或槽。如果使用CW模式，通过减少压力，增大偏压可以改善微负载效应，但是改善的能力有限，而使用脉冲模式，可以大大改善微负载效应。

2，减少晶圆表面损伤。如果在偏置电源上使用脉冲，可以减少等离子体攻击晶圆的时间，进而减少表面的损伤。我们特意制作了拜年的红包封面，点击领取：

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