国内新增一条8英寸SiC中试线

近日，深圳平湖室宣布，国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台已正式举办通线仪式，宣告“国内首个集科研和中试于一体的8吋先进功率半导体开放共享平台”正式通线。

据悉，这是全国首条集8吋SiC/GaN科研和中试于一体的功率半导体开放共享平台，覆盖第三代功率半导体衬底、外延、器件制备、封装测试、失效分析、可靠性验证全链条，建成先进的8inch工艺平台，具备向下兼容能力。

在通线仪式之后，深圳综合平台的运营单位深圳平湖实验室与深圳方正微电子有限公司、深圳市重投天科半导体有限公司等17家企业分别与签署合作框架协议，将在第三代半导体领域全面开展前沿探索、应用基础研究、重大技术攻关、产业应用示范等工作，与各领域伙伴紧密合作，形成战略合力。

目前，平湖实验室已精心布局1200-6500V SiC MOSFET及15-1200V GaN HEMT产品及工艺平台，正在积极构建从材料制备、芯片设计、晶圆制造到封装测试的完整产业链，将为我国进一步完善、升级第三代半导体产业链提供重要助力。

未来，深圳综合平台将在重点关键核心技术领域实现突破，加速科技成果的产业转化进程，持续向着成为世界领先的第三代及第四代功率半导体创新、中试及共享的平台的愿景努力。