1. 生产晶圆(PW)
生产晶圆是直接参与产品制造的晶圆。它们用于最终生产和销售的产品,有两类:
量产晶圆(Productive Wafer):这些晶圆是量产产品的基础,最终会被加工、测试并卖给客户,通常是标准产品。
工程晶圆(Engineer Wafer):它们用于试产,可能是在新工艺或者新产品的开发阶段。这类晶圆用于验证新设计、工艺参数调整或者是小规模的实验生产,测试结果直接影响到后续量产。
2. 非生产晶圆(NPW)
非生产晶圆则不直接参与最终产品的生产,它们主要用于厂内的监控、测试和设备优化,具体包括:
控挡片(Monitor Wafer):它们的主要任务是监控设备状态,比如刻蚀速率或薄膜均匀度。可以理解为“健康监测仪器”,通过对机台状态的监测,确保设备保持最佳性能。
暖机片(Season Wafer):它们用于设备的预热或冷却,帮助设备稳定运行。例如,机台长时间空闲后,可能需要用暖机片进行加热,以确保在运行时的稳定性。
填充片(Dummy Wafer):这些晶圆并不进行实际的产品加工,而是用于设备中填充空缺,确保设备在运行时不会出现空缺影响。例如,在炉管或刻蚀过程中,由于设备的操作特性,可能需要填充片来保持工艺的稳定性。
总结来说,PW是与产品制造紧密相关的晶圆,而NPW则更多地用于保障生产过程的顺畅,确保设备和工艺的稳定性。两者的主要区别在于是否直接参与产品的最终加工和销售。
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