无图形晶圆的颗粒检测原理

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：在裸晶圆上，颗粒的检测是如何实现的？比较经典的颗粒检测机台有哪些？

颗粒检测用什么光源？

激光。激光束扫描旋转中的晶圆表面，在无颗粒的光滑表面上，激光束发生镜面反射，当激光遇到颗粒时，部分入射光线会向各个方向散射。在暗场照明中，散射光可以直接检测；在明场照明中，可以通过检测镜面反射光强度的变化来表示。

明场与暗场各用来检测什么？

明场的光源垂直地照射到晶圆表面，暗场光源以一定的倾斜角度照射晶圆表面。暗场的视野一般是黑色的，只有表面有颗粒时，才看到发光体。明场适用于检测表面较光滑，颗粒较大的晶圆，暗场适用于检测超微小的颗粒。

检测机台如何记录光强？

使用PMT或CCD来记录光强。PMT是光电倍增管。

比较经典的检测机台型号？

KLA Surfscan  SP2

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