知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:晶圆的标记都是用的激光打标,能介绍下激光打标吗?为什么不用幽默笔或油墨来标记?
晶圆为什么要打标?
晶圆在制造过程中有数百道工艺步骤,标记使得每片晶圆能够在不同阶段进行身份识别,有助于追朔,生产管理,数据收集分析,防止混淆等功能。
晶圆的标打在哪里?
一般在晶圆边缘的flat 或notch附近,正反面均可。
为什么用激光而不用油墨?
1,激光打标洁净度更高,油墨在操作过程中会对晶圆有污染2,油墨容易被有机类容易去除掉,导致失去标记功能3,激光的精度更高,能够生成微小的文字、条形码等。
激光打标的原理是什么?
激光束直接作用在材料表面,使其局部温度迅速上升到气化点,使材料表面物质瞬间气化并消失,从而在表面留下凹痕。
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