CP测试系统可以类比为一个精密的医设备,用于检查晶圆上的芯片是否健康,确保它们在最后加工成成品之前符合规格。这个测试系统主要由以下几个核心部分组成:
测试机(ATE):就像医生的诊断仪器,通过一系列标准化的测试程序来检测芯片的各项性能指标。它的主要组成包括:
测试机头:好比医生的听诊器,与芯片直接接触,执行具体的测试任务。
测试程序:这一程序就像医生的诊断步骤,由工作站从服务器下载后在本地执行。
探针台(Prober):相当于护士或助手,负责将晶圆定位准确,以便测试机能进行精确检测。探针台通过操作将探针卡上的探针准确对准晶圆上的测试焊盘,确保信号顺利传递。
探针卡(Probe Card):可视为连接医生(测试机)与病人(晶圆)的管道,它上面的探针接触晶圆上的测试焊盘,把电信号传递至芯片。探针通常由优质导电材料制成,以确保信号传输的有效性。
针测接口板和针塔:这两者结合形成一个完整的信号回路,让电信号从ATE传输到探针,再到晶圆。就像医生使用的导线和附属设备,确保整个检测过程的电信顺畅。
晶圆卡盘(Chuck):它固定晶圆位置,仿佛是给病人检查时的躺椅,稳固且精确地保持晶圆在正确的位置以利于测试机进行有效诊断。
在这个系统中,所有部分都紧密地协作,就像一个完整的体检过程,确保每颗芯片都通过严格的测试程序,为下游的生产工序提供高质量的“健康”芯片。通过这样的系统性测试,工厂能大幅度降低生产缺陷,保证产品质量。
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