在所有半导体设备里,光刻机确实是一个最有话题热度的门类了。我之前从ASML、NIKON、CANON三家的官网上下载收录了他们目前销售的光刻机型号,并汇总做成表格供大家参考,读者反馈不错。更有行业大佬写文章时引用我的数据后更是给我的公众号带来一波巨大流量
当然也有专业做设备贸易的人士提醒我:其实三家在历史上推出过的光刻机型号远不止这些。只是因为部分型号过于老旧,原厂已经早已不销售了,所以官网上也查不到相关信息而已。不过市面上这些设备还在作为二手货被交易和使用,行业朋友对这些信息也有需求
说者无心,听者有意。这就激发起了我的好奇心。于是有了进一步收集数据的想法。而恰恰在这个时候,一些行业朋友也主动给我提供了大量的资料 -- 在此特别感谢之前慷慨给我提供信息的行业朋友,人数较多,就不一一具名了
话不多说了,数据奉上。目前收集到的三家供应商机台型号数量共185种,基本涵盖市面上绝大多数的三家供应商光刻机型号。麻烦大家在参考的同时也继续给我提供信息,帮我进一步完善这个数据:
ASML:78种
NIKON:71种
CANON:36种
这个完整表格里其实还有各个设备型号的具体参数指标,比如:焦深、放大倍率、视场尺寸、晶圆尺寸乃至推出市场的年份信息
不过由于版面有限,我只能截取部分信息做成以上简表供大家参考了
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