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晶圆减薄与划片的顺序是什么样的?

10/09 11:40
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:DBG是一种新颖的工艺,即先将晶圆正面半切,再将晶圆背面减薄。那么传统的,普遍的减薄与划片的工艺顺序是什么样子呢?

前几期的文章中,对DBG工艺做了介绍,见文章:Disco公司的DBG工艺详解

较为普遍的划片切割方式?

如上图,是常见的划片切割方式,即先将晶圆背面减薄,再将硅片进行划片。

1. Tape Laminator(贴膜):在晶圆的正面附上保护膜(BG Tape)这层膜有助于保护晶圆表面的芯片在背面减薄与cmp工序中免受损伤。

2. Rough Grinding(粗磨):使用粗磨设备对晶圆背面进行初步磨削,去除较大的厚度。粗磨阶段的目的是快速降低晶圆厚度,通常会去除大部分的材料,但表面粗糙度相对较高。

3. Fine-or Poligrinding(精磨):在粗磨之后,进行精磨或抛光磨削,以进一步减少晶圆厚度,并改善表面粗糙度。这一步能够去除粗磨留下的表面缺陷,达到更平滑的表面。

4.CMP(化学机械抛光):化学机械抛光,以去除晶圆背面剩余的应力,确保晶圆在后续工艺中不会因应力而破裂。此步骤的目的是进一步提高表面质量,确保晶圆的平整度和结构稳定性。

5. Frame Mounting(背面贴切割膜):将晶圆贴到到具有切割薄膜的框架上。框架上的切割薄膜将芯片牢牢固定,防止切割时芯片掉落。

6. BG Tape Peeling(除去晶圆正面的BG膜):去除最初贴在晶圆正面的保护膜,露出晶圆的正面,以便于划片工序的进行。

7. Dicing Saw(切割):使用划片机(Dicing Saw)对晶圆进行划片,沿着切割道将晶圆分割成单个芯片。

该减薄划片的方式的缺点?

当将晶圆减到较薄厚度时,在进行划片的过程中极易出现芯片崩边等问题,因此需要改用其他的划片切割方式,如DBG工艺,Taiko工艺,激光工艺等。

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