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Disco公司的DBG工艺详解

10/02 08:55
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:可以详细介绍下DBG工艺吗?DBG工艺的优势在哪里?

什么是DBG工艺?

DBG工艺,即Dicing Before Grinding,划片后减薄。Dicing即金刚石刀片划切,Grinding即背面减薄,该工艺由日本DISSO公司开发。

传统的划片减薄的顺序是,先将晶圆背面减薄到一定厚度,再进行刀片切割,这样做的缺点是晶圆在背面减薄时易破碎,在划片时易造成崩边等问题,而DBG工艺则完美地解决了这两个问题。

DBG工艺流程

1. Half Cut Dicing半切,在晶圆的切割道上进行浅切割,切割深度不穿透晶圆。半切后,晶圆仍然是一个整体,并没有被分裂为一粒粒的芯片。

2. BG Tape Laminating正面贴膜,在晶圆的正面贴上一层BG胶带,这层胶带用于保护晶圆的表面,防止芯片在后续的背面减薄中被刮伤。

3. Back Grinding使用砂轮对晶圆背面进行研磨。研磨的深度到达之前半切割的深度,这时晶圆分离成单个芯片。

4. Stress Relief应力释放,细磨去除机械应力,避免引起裂纹。

5. Dicing Tape Mounting切割胶带粘贴,在背面研磨后,将晶圆的背面贴附到切割胶带(Dicing Tape)上。

6. BG Tape Removing去除BG胶带,完成了所有的加工步骤后,移除原来贴在晶圆正面的BG胶带,露出芯片的正面,以便于进行下一步的封装工艺。

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