892
国内某知名Fab工程师工作5年的李工分享了离子注入工艺岗位的面试问题：这些问题分成几个主要类别：理论知识、工艺理解与优化、设备操作与维护、故障排查与解决、项目管理与协作，以及前沿技术与趋势。以下是按照这些类别整理的50个问题。
一. 理论知识
你能解释离子注入的基本原理以及它在晶圆制造中的作用吗？
描述加速电压和剂量对离子注入结果的影响。
什么是掺杂浓度分布，如何通过调整工艺参数来控制它？
描述离子注入中的通道效应，以及如何减小其影响？
解释注入离子与基板材料相互作用后可能产生的缺陷类型。
你能描述伯格斯向量和位错对材料特性的影响吗？
在哪些情况下会选择使用超浅结（Ultra-Shallow Junction）的注入工艺？
什么是二次离子质谱（SIMS），它在离子注入工艺中有什么应用？
你如何理解热退火对注入后的离子分布的影响？
描述在多种掺杂材料之间进行选择时需要考虑的因素。
二. 工艺理解与优化
如何选择离子注入的掺杂物种以实现特定的电性能目标？
在控制均匀性时，如何调节扫描方式和束流电流？
如何优化离子注入参数来减少晶圆的翘曲或应力？
你曾经参与过哪些离子注入工艺优化项目？具体做了哪些调整？
你会如何平衡掺杂浓度与注入深度之间的关系？
请描述你如何进行实验设计（DOE）以优化离子注入工艺参数。
在工艺开发中，你是如何评估并选择最佳的退火条件的？
你曾遇到过哪些工艺难题，又是如何解决的？
你如何根据产品要求决定使用单次注入还是多次注入？
描述你在工艺转移中所遇到的挑战，并如何成功应对。
三. 设备操作与维护
你如何进行离子注入设备的日常维护，确保其稳定运行？
描述离子注入机中束线系统的组成及其功能。
你曾处理过哪些设备故障？请举例说明并描述解决过程。
设备校准时需要注意哪些关键参数？
如何确保离子源的稳定性并延长其使用寿命？
你在离子注入设备操作过程中是如何确保安全的？
描述在更换离子源时需要进行的校准和测试步骤。
如何判断注入系统中可能存在的电磁干扰，并加以消除？
在工艺稳定性方面，你认为设备的哪个部分最容易出现问题？
你如何优化设备的利用率以满足生产需求？
四. 故障排查与解决
如果发现离子注入后晶圆的掺杂分布异常，你的排查步骤是什么？
如何判断离子注入后产生的缺陷是工艺原因还是设备问题引起的？
你是如何解决离子注入过程中出现的漂移问题的？
如果发现注入后的电性能指标不达标，你会如何分析原因？
在工艺运行过程中，如何实时监控并调整离子注入参数？
你曾处理过哪些难以诊断的工艺问题？如何找到根本原因并解决？
如果注入过程中出现晶圆破损的情况，你会如何应对？
你如何分析并解决由于温度变化引起的离子注入问题？
设备报警时，你的故障排查流程是什么？
在确保工艺稳定性方面，你采取了哪些预防性措施？
五. 项目管理与协作
你曾领导或参与过哪些跨部门合作的项目？这些项目中，你的主要贡献是什么？
如何在团队中分享工艺改进的成果以确保大家都能受益？
你如何制定并管理离子注入工艺的开发或改进计划？
描述你在项目中如何平衡时间、成本和质量之间的关系。
当项目进展不顺利时，你是如何调整策略以确保按时完成的？
你曾遇到过哪些与其他工艺或部门协调的难题？是如何解决的？
如何进行知识转移和培训，以确保团队中的所有成员都能掌握新技术或新工艺？
你是如何在项目中衡量成功的？使用了哪些指标？
描述你是如何与供应商或外部合作伙伴沟通，以改进设备或工艺性能的。
你如何评估并反馈团队成员的工作表现以促进整体工艺改进？
欢迎加入交流群，备注姓名+公司+岗位。
下载ECAD模型
