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TGV与TSV各用在哪些芯片的先进封装中?

08/05 10:35
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:TGV和TSV有哪些差异?在什么情况下更适合用TGV,什么情况下更适合用TSV?

什么是TSV,TGV?

见之前的文章:TSV工艺流程介绍玻璃通孔(TGV)工艺流程

TSV与TGV有什么差异?

TGV(Through
Glass Via)
TSV(Through
Silicon Via)
材料 玻璃
绝缘性能 玻璃具有良好的绝缘性能,不需要额外的绝缘层 硅是半导体材料,需要在孔壁上沉积绝缘层(如二氧化硅)以防止电流泄漏
热膨胀系数 玻璃的CTE较低且与大多数半导体材料匹配较好 硅的CTE与大多数半导体材料匹配较好
加工难度 玻璃的加工难度较大,需要使用激光打孔,最后需要铜电镀填孔 硅的加工相对容易,现有的硅蚀刻技术成熟,成本较低,最后需要铜电镀填孔
导电性 玻璃是绝缘体信号传输损耗较小 硅基材料的电阻较低,有利于信号传输和功率分布
导热性 玻璃的导热性较差,不利于热量的散发 硅具有良好的导热性,有助于热量的散发

TGV与TSV应用的芯片产品的差异?

由于玻璃的绝缘特性,TGV在高频信号传输中损耗较小,击穿电压高,适合高频应用,如在光电子,射频MEMS较常见。而TSV则适用于逻辑芯片存储芯片电源管理芯片等产品中。虽然有些区别,但最终的目的都是为了实现垂直互联。

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