ASML的DUV光刻机型号汇总

前两期的文章中我们介绍了ASML的G线，i线，EUV光刻机的型号，见文章：ASML的光刻机型号汇总(上)；ASML的EUV光刻机型号汇总

今天我们来介绍一下，ASML的DUV光刻机的型号。

DUV是什么？

DUV（Deep Ultraviolet），深紫外光刻，是介于Vacuum UV（157nm，F2）与UV（365nm，i line）之间的光线，一般是指KrF(248nm),ArF(193nm)两种波长。而浸没式光刻机则以ArF为主，浸没式光刻机晶圆与透镜之间引入高折射率的液体（如水），大大提高了光刻分辨率和焦深。

ASML的DUV是TWINSCAN NXT，XT系列产品。

NXT系列产品有：1965Ci，1980Di，1980Fi，2000i，2050i，2100i，因时间有限，大家可以去自行搜集其相关机台型号，参数。

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器件型号	数量	器件厂商	器件描述	ECAD模型	参考价格	更多信息
SN74LVC1G07DBVR	1	Texas Instruments	Single 1.65-V to 5.5-V buffer with open-drain outputs 5-SOT-23 -40 to 125	ECAD模型下载ECAD模型	$0.28	查看
SN74LVC2T45DCURG4	1	Texas Instruments	2-Bit Dual Supply Transceiver with Configurable Voltage-Level Shifting and 3-State Outputs 8-VSSOP -40 to 85	ECAD模型下载ECAD模型	$0.53	查看
74HC04D,653	1	Nexperia	74HC04; 74HCT04 - Hex inverter@en-us SOIC 14-Pin	ECAD模型下载ECAD模型	$0.37	查看

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SN74LVC1G07DBVR

Texas Instruments

Single 1.65-V to 5.5-V buffer with open-drain outputs 5-SOT-23 -40 to 125