ASML的DUV光刻机型号汇总

前两期的文章中我们介绍了ASML的G线，i线，EUV光刻机的型号，见文章：ASML的光刻机型号汇总(上)；ASML的EUV光刻机型号汇总

今天我们来介绍一下，ASML的DUV光刻机的型号。

DUV是什么？

DUV（Deep Ultraviolet），深紫外光刻，是介于Vacuum UV（157nm，F2）与UV（365nm，i line）之间的光线，一般是指KrF(248nm),ArF(193nm)两种波长。而浸没式光刻机则以ArF为主，浸没式光刻机晶圆与透镜之间引入高折射率的液体（如水），大大提高了光刻分辨率和焦深。

ASML的DUV是TWINSCAN NXT，XT系列产品。

NXT系列产品有：1965Ci，1980Di，1980Fi，2000i，2050i，2100i，因时间有限，大家可以去自行搜集其相关机台型号，参数。

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器件型号	数量	器件厂商	器件描述	ECAD模型	参考价格	更多信息
NC7WZ16P6X	1	Fairchild Semiconductor Corporation	Buffer, LVC/LCX/Z Series, 2-Func, 1-Input, CMOS, PDSO6, 1.25 MM, ROHS COMPLIANT, EIAJ, SC-88A, SC-70, 6 PIN		$0.21	查看
SN74LVC1G07DCKT	1	Rochester Electronics LLC	LVC/LCX/Z SERIES, 1-INPUT NON-INVERT GATE, PDSO5, GREEN, PLASTIC, SC-70, 5 PIN		$1.39	查看
M74VHC1GT126DF1G	1	onsemi	Single Non-Inverting Buffer, TTL Level, SC-88A (SC-70-5 / SOT-353), 3000-REEL	ECAD模型下载ECAD模型	$0.12	查看

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器件厂商

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参考价格

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NC7WZ16P6X

Fairchild Semiconductor Corporation

Buffer, LVC/LCX/Z Series, 2-Func, 1-Input, CMOS, PDSO6, 1.25 MM, ROHS COMPLIANT, EIAJ, SC-88A, SC-70, 6 PIN