华为的麒麟990系列芯片、苹果手机的A14处理器(5纳米工艺)以及M1处理器以及三星的Exynos 9825处理器都是用EUV光刻机生产出来的。
换句话说,7纳米以下的芯片,没有EUV光刻机造不出来!
工艺制程越先进的芯片,光刻机的分辨率越高。而光刻机的分辨率提升原理很简单,但是工程制造很复杂,原理全靠这个公式:
从1985年到2020年的35年期间,业界靠减少波长(λ)、减少K1、增加数值孔径NA才把光刻机的分辨率提升了2个数量级,从原来的1000纳米提升到几个纳米。
高NA数值的EUV光刻机内部结构长成这样,很复杂,造价上亿美元!可以说是人类历史上最复杂、最昂贵的机器之一。
一台EUV光刻机重达28吨,需要波音飞机B747运输。
芯片国产化第一关,先造光刻机。国产EUV光刻机路还很长,现在还处于从0到1阶段。
阅读全文