晶圆Fab厂Photo工艺工程师

Fab中有很多道工序，cvd，pvd，photo，etch，wet，cmp，imp，diff，thermal等。photo（光刻）在晶圆制造的多个工艺中都会出现，目前光刻机也是国产厂商还没有突破的核心装备之一。光刻工程师既要有扎实的理论知识，又要保持脑子清醒，同时具备严密的数据分析能力，才能把photo这道工艺调好。Photo工艺工程师一般向工艺主管汇报工作。

光刻工艺工程师的工作内容举例如下：

负责光刻工艺在线异常处理（合格、返工、报废），独立完成批量性异常的围堵调查；

负责光刻设备的保养验证，PE曝光机台Focus Bandjing Overlay的检查调整，匀胶显影设备胶量、液量、EBR的测试跟踪，烘箱、甩干机等设备颗粒测试监控，机台一致性数据收集监控；

协助生产主管编制、修订岗位工艺操作规范等控制文件，并监督实施情况；负责检查、指导生产车间7S工作的运营；负责新员工的培训以及考核；负责生产现场巡检，出现异常时，协调有关人员及时排解，并分析问题原因，提出纠正预防措施；

负责新产品光刻工艺研发，跟踪现场改善产品工艺；完成光刻曝光不同台阶覆盖工艺原理研究，为产品设计提供窗口；

腐蚀验证、腐蚀发雾改善，配合工程师数据收集，腐蚀侵蚀量收集，光刻异常匀胶不良分析改善和排查异常围堵措施制定执行；

光刻匀胶机程序编写和曝光自动位信号查找，已经新工艺开发研究项目经验；

负责PE自动化，实现PE曝光由手动对位到自动对位的转变，降低人工成本；PE光刻版优化，由玻璃版到优化使用石英版，降低机偏返工率；划伤专题，跟踪改善操作习惯，降低人为划伤返工率；SEZ腐蚀6寸裂纹降低，更换蓝膜，提高裂纹率降低成本溅射台双靶材拓展三靶材验证，通过效率和降低成本控制。