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本文由半导体产业纵横（ID：ICVIEWS）编译自jbpress
与从“器材之王”跌落的尼康有何区别？
1995年，当日本半导体行业竞争还很激烈时，尼康在光刻设备出货额中占有48.9%的份额，佳能占28.7%的份额，让日本总共获得了77.6%的份额。当时，尼康在光刻设备市场占有率第一，被誉为“器材之王”（图1）。
图 1 按公司划分的光刻设备出货量和份额（截至 2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建
然而，1995年市场份额为15.9%的荷兰ASML此后市场份额快速提升，于2002年超越尼康和佳能，2010年市场份额超过80%，2021年市场份额达到90%。2023年，ASML将以94.2%的市场份额占据主导地位，而尼康的市场份额将下降至3.1%，佳能的市场份额将下降至2.8%。
ASML在ArF沉浸式设备的吞吐量和可用性方面压倒了日本竞争对手，自2008年以来，ArF沉浸式设备已成为其主打产品。ASML已成为尖端光刻设备EUV领域的主导公司。
结果，日本在光刻设备领域的存在似乎消失了。然而，如果我们计算光刻设备的“各类光刻设备的出货量份额”而不是“EUV光刻设备出货量份额”，则会出现完全不同的情况。笔者想讨论下面的细节。
各公司光刻设备出货量及占比
图2显示了各公司出货的光刻设备数量。2011年至2014年，ASML出货量从222台减少至136台。此外，尼康的销量从85台减少到34台。另一方面，佳能的出货量变化不大，从52台变化到54台。
图2 按公司划分的光刻设备出货量（截至2023年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建
不过，从2015年到2023年，ASML和佳能的出货量大幅增长。ASML从169台增加到449台，佳能从80台增加到187台。另一方面，尼康的销量从42台增加到45台，并没有大幅增长。接下来我们看一下全球光刻设备的出货量以及各公司的出货量占比（图3）。
图 3 按公司划分的光刻设备出货量份额（截至 2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建
ASML的出货量份额稳定在65%左右。另一方面，佳能的市场份额从2011年的11.4%逐渐上升，2015年以来一直维持在30%以下。另一方面，尼康的市场份额逐渐下降，从2011年的23.7%，下降到2023年的6.6%。这样一来，佳能在销量份额上根本无法与ASML匹敌，但在出货量上却拥有ASML近一半的份额。那么，佳能大量出货的是哪些光刻设备呢？
各公司光刻设备出货量
图4显示了各公司各种光刻设备的出货量。只有ASML可以出货最先进的光刻设备EUV，每台成本为240亿日元。至于每台成本98亿日元的ArF沉浸式，ASML有125台，尼康有9台，ASML以压倒性优势领先尼康。在每台售价31亿日元的ArF干货市场，ASML有32台，尼康有10台，所以尼康做得好一点。
图 4 按公司划分的各种光刻设备的价格和出货量（2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建
其中数量最多的KrF为16亿日元，ASML有184台，尼康只有2台，佳能有56台。佳能在这里首次出现，佳能的56台机器占ASML 184台机器的30%。此外，单价7亿日元的i-line，ASML出货量为55台，尼康出货量为24台，佳能出货量为131台，约为ASML的2.4倍。注意，各种光刻设备的价格是参考ASML的财务报告计算的。当时换算成日元是1欧元=160日元。
佳能专注于KrF和i-line
这样看来，佳能的战略就清晰了。佳能的策略是专注于KrF和i-line，而不触及EUV和ArF等先进技术。而且这个策略确实有效。这是因为在制造半导体时，无论多么尖端，都不可能只使用EUV；而是会使用ArF浸没式、ArF干式、KrF和i-line。换句话说，无论未来半导体小型化进展如何，KrF和i-line总会有生意的。而且，由于设备成熟，开发成本几乎可以忽略不计。
因此，佳能对KrF和i-line的重视可以说是非常出色的。另一方面，尼康的策略不如佳能那么明确。在 ArF 浸没和 ArF 干燥方面，尼康无法与 ASML 匹敌。凭借 KrF 和 i-line，无法击败佳能。换句话说，尼康似乎正在弥补 ASML 在尖端设备方面的不足，并在弥补佳能在成熟设备方面的不足。正如开头提到的，尼康在20世纪90年代被誉为“器材之王”。
然而，由于 ASML 和佳能，它现在得以生存。你能真正感受到事物的盛衰、无常。展望未来，ASML在尖端光刻设备方面已开始出货下一代EUV机器“High NA”。
此外，下一代“Hyper NA”将于2030年左右开发。如此看来，佳能似乎将业务重点放在KrF和i-line上，而ASML则投入巨额研发成本，推进尖端技术。我觉得佳能放弃尖端的策略很“聪明”。
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