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射频电源的频率与等离子体能量,密度的关系?

07/01 13:25
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:等离子刻蚀机台的频率有13.56MHz,2.45GHz等,频率的大小的不同会对造成什么影响?该怎么选用。

射频电源的作用?

射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中,起到激发等 离子体、选择刻蚀方向等作用。

射频电源有哪些常见频率?

13.56MHz,2.45GHz,40-100KHz,2MHz其中,13.56MHz是半导体设备最常见的频率。

频率与离子能量,密度的关系?

 

如图所示:频率越高,离子能量一般越低,密度越大;频率越低,离子能量一般越高,密度越小。

欢迎加入我的半导体制造知识星球社区,目前社区有1700人左右,是国内最大的半导体制造学习平台。在这里会针对学员问题答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升半导体制造能力,介绍如下:      《欢迎加入作者的芯片知识社区!》

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