知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:等离子刻蚀机台的频率有13.56MHz,2.45GHz等,频率的大小的不同会对造成什么影响?该怎么选用。
射频电源的作用?
射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中,起到激发等 离子体、选择刻蚀方向等作用。
射频电源有哪些常见频率?
13.56MHz,2.45GHz,40-100KHz,2MHz其中,13.56MHz是半导体设备最常见的频率。
频率与离子能量,密度的关系?
如图所示:频率越高,离子能量一般越低,密度越大;频率越低,离子能量一般越高,密度越小。
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