全球半导体缺陷检测设备供应商列表

之前我发布了CD、套刻量测设备和膜厚量测设备的供应商列表（链接见下）：全球半导体膜厚量测设备供应商列表

所以接下来再发布一个缺陷（颗粒）检测设备的供应商数据。这个领域，尤其是有图形晶圆的缺陷检测可能是所有检测设备里技术门槛最高的领域了（号称小光刻机的就是这种设备）

这个领域中的高端设备几乎被KLA一家垄断。虽然从下表中看起来国产设备厂商很多，但据我沟通了解，目前国产设备在KLA的一些高端型号设备面前差距还非常大。短期内要想突破难度极高

目前我只是先把厂商和产品大类的信息统计出来，供大家参考。后续我会进一步和各家厂商（尤其是国内厂商）交流，把更加具体的技术指标、应用范围和对标海外产品型号的信息也统计出来

麻烦大家多多支持。能根据下表给我提供修改意见和补充信息就感激不尽了

注：因为一些特殊原因，有个别厂商暂时没有列出，希望大家理解