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半导体线宽、套刻精度量测设备供应商列表

06/20 11:40
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半导体设备里,除了人尽皆知的光刻机,大家讨论最多的设备恐怕就是测量与检测设备了(Metrology and Inspection)这类设备的技术门槛非常高,有些种类甚至有小光刻机之称,而且市场空间和利润都十分可观,所以目前半导体行业的投资人对这个领域也非常感兴趣正好,和我合作的“复创芯”计划在7月份有一个相关的行业大会。

具体信息参考以下链接:

2024 中国检测技术与半导体应用大会 ---暨半导体分析检测仪器与设备发展论坛

所以,我也趁这个热度,整理一下全球的相关设备供应商数据。这次先列一下目前收集到的线宽(CD)量测和套刻精度量(Overlay)测设备的供应商数据在CD量测设备中,OCD是光学(Optical)量测,CD-SEM是电子束量测以下收集到的公司中,有些公司的产品还处于研发阶段;有些目前还没有公开的,我就暂时不放到表格里了
麻烦大家在参考的同时,也帮忙确认一下,看看有没有问题。谢谢了

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