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4&6寸硅片为什么要留平边(flat)?

05/11 09:07
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知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:2,4,6寸硅片都有平边,它们有什么作用?

硅片的平边(Flat)是什么?

Flat也可以被称为定位边。2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边位置不固定,跟随晶向与掺杂类型发生变化。

定位边位置与晶向的关系?

硅片的晶向一般为三种:<111><110><100>。

当主定位边与次定位边夹角为45°时,硅片类型为n型<111>;当主定位边与次定位边夹角为90°时,硅片类型为p型<100>;当主定位边与次定位边夹角为180°时,硅片类型为n型<100>。由于<110>晶向,不是主流的硅片晶向,因此没有一个标准来表示,可以根据硅片供应商自己的标准来表示<110>晶向。

主定位边与次定位边的长度是固定的吗?

是的,因为要匹配半导体制造设备,因此主,主次定位边的长度和位置都是固定的。

一般2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。

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