2024年慕尼黑上海光博会于3月20-22日举行,陕西光电子先导院科技有限公司携VCSEL单孔晶圆、VCSEL阵列晶圆、砷化镓(GaAs)IPD晶圆、氮化镓(GaN)HEMT晶圆4项成果亮相,展位上的各项产品吸引了众多参观者驻足、交流。
据光电子先导院技术人员介绍,“公司研发技术团队仅用了6个月的开发周期,就完成了VCSEL单孔晶圆、VCSEL阵列晶圆2款产品的全流程工艺开发,通过了1000H的高温高湿、高温带电、冷热冲击等可靠性测试,并发布了PDK(Process Design Kit,工艺设计套件)。这意味着公司已经具备了相应的工艺代工能力。”
此外,“基于常开型 GaN HEMT 技术,公司研发技术团队还完成了器件不同技术路线工艺流程的开发;针对GaAs无源器件模型,开发了无源器件成套工艺,完成薄膜电阻、平板电容、螺旋电感等器件的建模。公司已经具备GaN HEMT 、GaAs无源器件共性基础工艺能力,正在进一步优化器件性能,可同步对接研发流片需求”,光电子先导院技术人员说。
据悉,本届光博会,来自海内外的1200家光电行业的领军企业齐聚于此,共同探索光电行业的未来发展方向,聚焦新技术、新趋势,成为诠释“新质生产力”的风向标。
“光子行业的发展,将推动信息技术和新型工业化质的飞跃,是新质生产力的典型代表。”陕西光电子先导院总经理杨军红认为,随着人工智能、航空航天、智能制造、新能源、生命科学的蓬勃发展,光子产业的发展也逐渐进入快速增长期。
陕西光电子先导院成立于2015年,配备有超百人的完整工艺技术团队,拥有先进的化合物芯片关键设备100余台(套)和千级、万级、十万级洁净厂房8000㎡(研发平台5000㎡,中试平台3000㎡),是集研发及中试服务为一体的光电芯片领域专业服务平台。
作为陕西省光子产业链“链主”企业,陕西光电子先导院以“畅链”和“延链”进行带动,目前陕西全省光子产业企业已发展到300余家、产值300余亿元,形成了光子领域全国创新版图中的“陕西生产力”。
杨军红表示,“光电子先导院一直把为光子企业提供研发、中试、测试、工程化服务作为核心价值,先进光子器件工程创新平台为更多项目提供‘化合物+硅光芯片’全流程服务,吸引更多的光电子芯片创新主体融通汇集、聚链成群。”
为了拓展工程平台“1+N”的服务模式,除了VCSEL主平台工艺的开发外,陕西光电子先导院在2023年还同步进行砷化镓IPD无源器件和GaN HEMT共性基础工艺平台开发。截至2023年末,已完成了基础工艺的开发,并经过多轮流片验证,工艺过程参数均符合指标要求,工艺过程可控。
为进一步培育光子产业竞争新优势,陕西光电子先导院将持续追加投资,对现有平台进行升级。一方面,拟对现有化合物光子器件中试平台进行升级扩能,新增高可靠车规级激光器芯片工艺设备;另一方面拟新建先进硅光集成技术创新平台,新增硅光工艺设备,开发先进硅光集成芯片工艺技术,具备硅光工艺研发、中试能力。
据介绍,扩能升级完成后,光电子先导院将实现“化合物+硅光芯片”全流程的研发、试验、中试能力,有效助力解决光子领域长期存在的科研和市场“两张皮”“大科技小产业”等问题。也将有效助力消除科技创新中的“孤岛现象”,使光子产业创新成果更快转化为现实生产力,推动实体经济发展。
截至2023年末,光电子先导院先进光子器件工程创新平台已攻克30多项核心工艺开发;完成了以VCSEL为代表的工艺平台建设,并完成了多款产品的PDK发布。平台已经具备为光电子产业各类创新主体提供研发、中试、检测、工程化等全流程技术服务,将加速企业产品创新,有效推动光子产业持续创新发展。