美国，为什么爱盯着荷兰的光刻机？

全球光刻机巨头ASML（阿斯麦）的新年开篇颇有些闹心。

新年首日，ASML发布公告称，荷兰政府最近吊销部分了2023年发货的NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证，影响了少数中国客户。

吊销举措比荷兰出口管制新规原定生效的日期提前了数星期。当然，这背后少不了美国政府的施压。“在美国拜登政府的要求下”，彭博社如此形容道。

美国政府对荷兰公司ASML的要求可谓接二连三 ↓↓↓：

2019年以来，美国事实上禁止ASML极紫外（EUA）光刻机向中国大陆出口。

2023年3月，ASML表示将需要申请出口许可证才能装运最先进的浸润式DUV系统。

2023年，美国宣布新规，如果ASML的浸润式DUV系统“Twinscan NXT1930Di”机器含有任何美国零部件，美国有权限制其出口。

为什么美国就爱盯着荷兰的光刻机不放？除了ASML是全球唯一一家能够生产7纳米及以下芯片所需的EUV光刻机的厂商之外，美国与ASML还有什么“仇”有什么“恨”？

ASML 与 EUV LLC

对于芯片制造，光刻是一个必不可少的环节。可以说，没有光刻机，就没有现代芯片产业。2018年，ASML推出全球第一款EUV光刻机，将摩尔定律向前延续至5纳米及以下制程的节点。时至今日，ASML都是EUV技术唯一的玩家，并且垄断全球光刻机市场80%的份额。

不过，美国或许觉得，ASML之所以能取得今日光刻龙头的地位，很大程度上是因为早期美国科技界的支持。

1996年，为了从理论上验证EUV的可行性，英特尔联合美国能源部下面的三大国家实验室，以及摩托罗拉和AMD等芯片厂商成立了合作组织EUV LLC联盟（极紫外线有限责任公司）。

当然，作为一位芯片制造商，英特尔的目标是制造东西，而不仅仅是科学研究。因此，英特尔希望找到一家能够商业化和大规模生产EUV工具的公司加入EUV LLC，这个被选中的半导体设备公司就是ASML。

就这样，1997年--2003年，EUV LLC汇集了几百位顶级科学家，投入2亿美元（其中大部分由英特尔支持），发表了几百篇论文，终于验证了EUV光刻机的可行性。

之后，EUV LLC联盟解散，ASML继续将科学研究转化成商业成果，并在15年后，克服重重困难推出了全球首款EUV光刻机，也彻底将竞争对手尼康甩在身后。

且不论EUV LLC的研究成果在多大程度上帮助了ASML。虽然不明说，但美国暗地里多少会觉得，在这方面，ASML欠他们一份人情。而既然欠了人情，该还的时候总要还的，对吧？

美国，失落的光刻机霸主

美国政府现在看ASML的心情，应该是五味杂陈的。一方面，不得不仰仗其最新一代光刻机来重建美国在芯片先进制造上的领先地位。另一方面，这个游离在荷兰的光刻机巨头，多少让美国品出了一丝“养虎为患”的意味。

自始至终，美国政府对ASML垄断光刻机技术都是忌惮的。最初英特尔邀请ASML加盟EUV LLC时，美国政府内部就出现一些声音，认为让外国公司获得美国国家实验室最先进研究成果的做法不合适，因为一旦成功，美国将依赖ASML的光刻机作为所有计算的基础工具。

世纪之交，ASML准备收购美国最后一家大型光刻机公司硅谷集团（SVG）。当时，硅谷集团已经远远落后于行业领先者，但美国国防部再次质疑该交易是否符合美国的安全利益。三名参议员写信给时任总统提出反对，称“ASML最终将拥有美国政府的所有EUV技术。”

不过，反对的声音在当时都是占少数的，ASML最终还是顺利加入EUV LLC以及收购了硅谷集团。现在回过头看，美国政府或许多少有些懊悔让ASML成为唯一家EUV光刻机设备商。

而更懊悔的或许是，这样的局面确是自己一手造成的，因为自己没有延续光刻机霸主的地位。是的，美国公司GCA（美国地球物理公司）曾在20世纪八十年代初处于行业全球领先地位。

1978年，GCA推出第一台步进式光刻机并垄断了全球85%的半导体光刻设备市场。这种可以一步一步地移动的设备，能逐个将硅片上的每个芯片曝光，比当时已有的扫描式准确得多。很快，订单如雪片般飘来，GCA也市值暴涨。

不过，GCA的垄断地位没有持续很久，半导体下行周期叠加日本公司尼康的有力竞争，GCA的市场份额在20世纪八十年代后期下降到50%，直至成为一个远落后于尼康、佳能和ASML的小公司。1993年，GCA关闭。关闭前，GCA曾最后一次呼吁美国政府的帮助，但美国政府得出的结论是，什么也做不了。

种种情绪叠加，或者可以解释为什么在对ASML光刻机的出口上，美国如此敏感。

写在最后

曾几何时，全球化分工是半导体产业最引以为傲的特征之一，也带动了全球半导体产业在过去60年间的蓬勃发展。

而EUV光刻机，恰恰是半导体产业全球化协作开出的最美丽的花朵，需要EUV LLC的基础研究，更需要ASML此后十数年的坚持和突破、全球零部件供应商的齐心协力、以及全球半导体市场的哺育。

如今，如何延续摩尔定律成为产业急迫需要解决的问题，产业却深陷地缘政治的阴霾中，以封锁、打压、限制取代正常的商业竞争。

对于美国施压荷兰ASML公司停止向中国出口光刻机，1月2日，外交部发言人汪文斌回应道，“半导体是高度全球化的产业。在各国经济深度融合的背景下，美方有关霸道霸凌行径严重违背国际贸易规则，严重破坏全球半导体产业格局，严重冲击国际产业链供应链安全和稳定，必将自食其果。”