3361
张通社 zhangtongshe.com
在行业经历周期低谷的当下，张江科学城这家半导体设备公司的成绩单依然很闪耀：据中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）年报显示，2023年前三季度公司实现营业收入40.41亿元，同比增长32.8%；实现归母净利润11.6亿元，同比增长46.27%。
并且，更为不易的是，在过去的十年，中微公司持续保持着高速增长：从2012年到2022年，十年平均年营业收入一直保持高于35%的增长率。
中微公司由尹志尧创立，总部位于上海浦东。经过19年的长跑，在2022年全球刻蚀设备市场排名中，中微公司排名第四位，前三位是三家老牌海外巨头。
由于刻蚀机门槛高、技术难度大，作为后起之秀的中微公司实属不易。“5纳米制造工艺的芯片，相当于人的头发丝直径差不多一万三千分之一那么小的尺度。刻蚀机就是在这样的尺度上进行雕刻。”中微公司创始人、董事长兼总经理尹志尧这样向媒体形容刻蚀机的用途，表达了其技术的难度和重要性。
在巨头的夹缝中坚持创新，实现从65纳米到5纳米工艺全覆盖
时光回到2000年前后，尹志尧已是一位在硅谷工作近20年、拥有丰富的半导体设备研发经验领域的资深专家。当他看到国内半导体产业的历史机遇，毅然选择回国并主导创立了中微公司，从零开始自主研发刻蚀机设备。
什么是刻蚀机？与光刻机有何区别？半导体芯片制造工艺的复杂程度极高，涉及数千道工序和大量专业设备。简单来说，光刻机的用途是将芯片设计电路结构通过光线投射到半导体晶圆上，而刻蚀机则通过化学或物理方法去除晶圆表面不必要的部分，实现微观雕刻。如果将光刻机比作木匠用墨线在木板上画线，那刻蚀机就相当于在木板上按照墨线的痕迹雕花。
因此，也可以说，刻蚀机是仅次于光刻机的重要半导体设备，复杂难度丝毫不亚于光刻机。
据SEMI 2021年数据显示，总额达到875亿美元规模的晶圆制造设备市场中，刻蚀机的占比约为20%。
刻蚀机的重要性，无需赘言。
20年前的张江，掀起了一波海外人才归国创业的高潮，其中就包括尹志尧等中国半导体行业的“开拓者”。在行业发展和政策支持的大背景下，中芯国际、华虹半导体以及中微公司等中国半导体头部企业也相继在这一时期在张江成立。
刚成立之际，仅用3年时间，中微公司就研制成功中国第一台CCP（电容性耦合的等离子体源）刻蚀机，实现了零的突破，填补了国内的空白。
面对体量、研发投入、市场认知度都相差甚远的海外老牌巨头，中微公司如何打破如此不对等的竞争局面？
尹志尧特别强调了“产品布局”和“技术创新”。
首先，在产品的合理布局，中微公司主要聚焦在半导体芯片制造设备行业中最关键的设备上。所从事的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是集成电路前道设备市场最大的两种设备，特别是等离子体刻蚀设备是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高、市场增长最快的设备，占半导体前道设备总市场的约22%。
同时，在产品开发、设计和制造过程中，中微公司坚持“创新”和“差异化”，。尹志尧表示，中微公司不走海外巨头老路，而是选择全新的技术路径和方向，从零开始实现技术突破，走上一条独立自主发展道路。
例如，在CCP电容性高能等离子体刻蚀设备的研发过程中，开创性地推出了甚高频去耦合等离子体刻蚀技术；在ICP电感性低能等离子体源的开发过程中，设计了新型电感线圈架构，以减少电容性耦合引起的不良作用……
后来，中微公司运用这种思路，陆续开发了关键设备品类：导体化学薄膜沉积设备LPCVD（低压化学气相沉积）和外延设备EPI。以及通过投资布局了集成电路第四大设备市场——光学检测设备。
成立至今，中微公司自研的刻蚀机产品完成了从65纳米到5纳米工艺的全面覆盖，与全球高精度光刻机的匹配，满足行业和客户对先进制程芯片不断提升的需求，以此成功打入海外市场。
战略、组织、人才三板斧联动，从浦东崛起，海外市场占到75%
技术和产品有赖于人才和组织来实现，中微公司的战略、组织和人才三板斧是如何联动的？在2023浦东国际人才港论坛上，中微公司集团副总裁何奕做了主题为《企业国际竞争下的人才全球化发展及应对策略》的演讲，或许能从中总结一二。
何奕表示，中微公司在组织治理上尤其关注两点：第一，尽最大的努力发挥每个个体的积极性；第二，尽最大的努力降低内耗。在人才激励、考核、培养上，中微公司都有自己的特点。
在激励措施上，在中微公司的组织文化中，坚信每个人都有价值，到今天为止，公司依然是全员持股。“每年股票的计划是全员覆盖的，我们覆盖到司机、前台、秘书。”何奕讲道。
在考核上，中微公司尤其看重管理者的担当，这是中微公司的管理特色。“不要把矛头指向兵，这个人不好为什么不找领导的问题？作为管理者，责任是要发挥每个人最大的积极性，而不是说员工不好，然后把他推给HR，让HR来采取措施。”何奕表示。
而在晋升机制上，却不只是领导说了算，而是要得到周围同事的认可，包括上级、下级和协同岗位的同事等。
此外，在组织文化中，中微公司注重搭建与海外沟通的环境。“我们的员工高频次跟海外员工沟通的环境搭起来了，自然而然就构建了全球化的模型。”何奕分享说。
在人才培养方面，中微公司注重内部培养。“过去几年，我们持续发力招聘应届生，今年大概收到三四千份简历，最后招聘120-150个，大概90%是技术岗位，70%-80%都是博士生，主要学科是物理、化学、材料、机械这些非常基础的学科，中微公司有自己的人才密码。”
据中微公司官网显示，目前在日本、韩国、北美、中国台湾等地都建立了公司。“让国际化人才愿意加入中微（公司），以及让他能在这个地方发展起来，这是背后的逻辑更重要一点。”
何奕分享说，中微公司从刚成立开始就是着眼全球发展。“卖设备，不像快消品，很多公司成立、投入十年，还没有太多回报，这个时候就看公司的战略定力在什么地方。我们在韩国、日本、美国、新加坡、欧洲都有办公室，有些地方终于看到了一些突破。我们很高兴，在全球制裁中国半导体设备的时候，（中微公司）反向出口到海外了，证明我们自己的实力，但是这个过程当中，真的需要公司有战略定力。”
据何奕分享，海外市场已成为中微公司另一个主要市场。“目前集成电路设备市场中国大陆占25%，海外市场占75%。”
布局三维发展战略，外拓至泛半导体设备关键领域
尹志尧认为，对半导体设备企业来说，单一的产品、单一的产业布局，面对行业发展周期的波动，很难保证持续稳定的发展，时刻有遭遇风险和危机的可能。“在公司规模小的时候，我们好似在海底游泳的鱼，海面上的风浪起伏对我们影响不大，但现在当我们的市场份额越来越大，逐渐浮向海面，就会对这类波动更加敏感。”
因此，站在今天这个时间点上，尹志尧看重这几个关键词：高速、稳定、健康、安全。
“其实，从1984年到2022年，全球芯片生产线的投资变化率一直呈现大起大伏的周期性。”尹志尧介绍，为了减少企业发展的大起大落，中微公司已开启“三维发展、有机生长、外延扩展”的道路。
凭借在微观加工领域的硬核实力，中微公司除了在刻蚀机、薄膜机、检测机等集成电路设备领域做大做强外，还拓展关注在太阳能电池、LED显示和照明、传感器等泛半导体设备关键领域的应用，并积极探索环境保护、大健康、企业网络等战略新兴领域的发展机会。
“十几年前，MOCVD设备是用来加工LED照明芯片的。”尹志尧说，经过近20年的飞速发展，MOCVD成为了目前半导体化台物材料制备的关键技术之一。中微公司提前分析研判，在进入该领域短短一年的时间内，实现在全球MOCVD的市场占有率从5%迅速提升至70%，并迅速发展成为全球市占率第一的MOCVD设备供应商，提升了公司营运抗风险周期波动的能力。
为了保持高速、稳定、健康、安全的发展，中微公司始终瞄准世界科技前沿，持续践行三维发展战略。尹志尧说，在规模和竞争力上公司都要成为国际一流的半导体设备和高科技领先企业。
文字：张大红
编辑：杨悦铖
校对：任甄妮
下载ECAD模型
