全球EFEM/Wafer Sorter供应商列表
这个只是一个整机供应商的列表,而EFEM是一个由多个部件模组构成的系统,有些供应商能够完整提供这些部件产品,而有些只是外购后做系统整合这些部件模组(Robot、Wafer Aligner、Load Port...)的市场和供应链也非常值得了解和研究。所以,这次我再进一步整理和发布这一块的供应商列表,供大家参考这次我先发布一个晶圆搬送Robot的供应商数据按照一般分类,Robot大体分真空环境和大气环境,而真空环境里一般有Direct Driver和磁流体两种不同技术路径多数供应商的产品我都按照这个模式分了类,但有些由于没有拿到详细信息,只能笼统打勾了我目前一共收集到了49家供应商信息(看来这个市场也不小),其中中国大陆的16家,约占三分之一
Robot的应用领域很多,在面板等其它行业也被普遍采用。我尽量加以区别,在这个表格里只收录晶圆搬送的Robot产品麻烦大家在参考之余,也帮我确认补充。有任何建议,请留言。谢谢了
阅读全文