TDK 压电叠堆执行器产品组合添新锐

TDK 株式会社（东京证券交易所代码：6762）推出两款新的采用符合 RoHS 要求的锆钛酸铅 (PZT) 材料制成的铜内电极压电执行器——COM30S5 和 COM45S5。新款元件采用 TDK 获得专利的基于铜电极的 HAS（高有效堆叠）技 术，以无外壳封装的被动元件供货，实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术，TDK 采 用 HAS 技术的压电执行器性能更佳，湿度稳定性更好、使用寿命更长。

两款新元件覆盖电压范围为-10 至+180 V，额定位移在+160 V 处达到，允许的表面温度范围为-40 至+160°C，高度 分别为 30 mm 和 45 mm，横截面尺寸为 5.2 mm x 5.2 mm，并且在 160 V 和 730 N 的预紧力条件下可实现 55 µm (COM30S5) 和 83 µm (COM45S5) 的位移。

此外，TDK 计划于 2023 年再推出另外三款执行器，以满足更广泛的应用要求。目前，这些执行器仅作为少量原型样品供应，尚未量产，具体包括高度为 10 mm、位移量为 16 µm 的 COM10S5；高度为 27 mm、位移量为 47 µm的 COM27S3（带引线型）；以及高度为 30 mm、横截面为 7 mm x 7 mm、位移量为 55 µm、推力高达 2600 N 的COM30S7。

TDK 的压电执行器口碑好，应用范围广，适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制，以 及半导体制造等高端解决方案在内的诸多应用。

主要应用

• 纳米级定位系统
• 液体和气体的高精度阀门控制
• 焊线机

主要特点和优势

• 铜内电极，具有优异湿度稳定性和高性价比
• 更小的无效区域，更好的性能，更长的使用寿命和更紧凑的设计
• 采用无铅高熔点金属焊接，适合高温操作