本帖最后由 暗月 于 2016-11-30 21:51 编辑
芬兰VTT国家技术研究中心(VTT Technical Research Centre of Finland)研究人员在Iphone相机光学系统中整合电容可调的微光学机电系统(MOEMS)结构,打造出据称是首款全整合的超光谱成像智能手机。
电容可调的MEMS Fabry-Perot干涉仪,采用TiO2-Al2O3 λ/4薄膜Bragg反射镜制成
这种MOEMS结构是一种可调谐的MEMS Fabry-Perot干涉仪,由原子层沉积的TiO2-Al2O3 λ/4薄膜Bragg反射镜制成。将金属电极整合到反射镜薄膜,使其达到可由电容调谐气隙高度,从而改变带通波长。
研究人员Iphone 5S超光谱成像仪(HSI)演示约500nm可见光范围内的单个MEMS FPI可调谐滤波器(具有450~550nm的调节范围),在SPIE论文(MEMS FPI-based smartphone hyperspectral imager)中,他们还展示了使用串联FPI达到更大的波长范围。
他们展示了集中于500~650nm范围的两个叠层FPI装置,以公章调谐波长到400~700nm,虽然他们并未在iphone中整合此叠层装置,但这种MOEMS滤波器的机械厚度易于与智能手机整合,并提供OEM授权的VTT技术。
这项展示在可见光范围内进行,但VTT研究人员的的目标在约700~1000nm的可见光近红外线内开发类似的MEMS超光谱成像系统。在此波长范围下有助于识别更多的光谱指纹,从而实现防伪、认证以及潜在的健康、食品等的传感器应用。
使用修改的iphone 5s搭配超光谱应用检查20欧元真伪
相比与分离式元件组成的昂贵压电式FPI,这款单片MEMS FPI可以以低成本实现量产,及与相机光学元件整合。此外,轻量级表明微加工的MOEMS能承受18000G的冲击而且不受振动效应影响,使其也能应用于汽车、无人机上。
可调谐滤波器 FPI,轻薄、坚固耐用
(出处:MEMS optical filters give Iphone's camera hyperspectral powers http://www.electronics-eetimes.com/news/mems-optical-filters-give-iphones-camera-hyperspectral-powers)
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