宙讯微电子对外提供压电MEMS代工服务

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宙讯微电子对外提供压电MEMS代工服务

该工艺平台专注于压电MEMS领域新器件的研发和量产服务，平台设备选型满足6英寸全自动化晶圆量产需求。积极布局先进微电子器件、声电器件、MEMS器件、RF前端器件等领域，以满足电子信息、物联网、小基站、北斗等技术发展对于微纳加工的需求，现已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台，实现了新材料从微米到纳米级别的结构与器件的可控开发、加工与测试，可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

（1）   MEMS超声换能器PMUT代工服务

（2）   光刻代工服务-步进式光刻机

（3）   光刻代工服务-接触式光刻机

（4）   匀胶显影代工服务

（5）   晶圆CMP机械化学平坦化代工服务

（6）   氮化铝AlN磁控溅射代工服务

（7）   掺钪氮化铝AlScN磁控溅射代工服务

（8）   金属Mo磁控溅射代工服务

（9）   金属蒸发代工服务

（10）  PECVD二氧化硅及氮化硅沉积代工服务

（11）  金属等离子体刻蚀RIE代工服务

（12）  硅及氧化硅等离子体刻蚀RIE代工服务

（13）  薄膜厚度修整代工服务

（14）  湿法清洗及腐蚀代工服务

（15）  晶圆植球代工服务

（16）  热压超声倒装代工服务

（17）  晶圆划片代工服务

（18）  测试编带代工服务

如需进一步了解或有特定需求，请联系戴经理，17372170616/18901593289（同微）

更多信息，请访问宙讯微电子官方网站：www.quantgrav.com