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[经验] 超大规模集成电路技术基础

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caroline11

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发表于 2022-10-21 10:28:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
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高等学校教材 《超大规模集成电路技术基础》 李兴 主编　电子工业出版社
一 硅的晶体结构
二 光刻
三 扩散
四 氧化及热处理
五 薄膜工艺基础与物理气相沉积
六 化学气相沉积
七 刻蚀
八 平坦化及多重内连线工艺
九 超大规模集成电路工艺汇总

超大规模集成电路技术基础(李兴）.part3.rar

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超大规模集成电路技术基础(李兴）.part2.rar

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