二次离子质谱分析学习资料

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SIMS（ Secondary Ion Mass Spectroscopy ）是利用具有几个kev能量并经过聚焦的一次离子束( Ar+、F-、O2+、O-、Cs+ 等)，在样品上稳定的进行轰击，溅射出的原子部分离子化，生成二次离子，收集从被轰击表面微区溅射出来的二次离子，然后用质谱仪按其质荷比进行分离测定。质谱分析则是基于电磁偏转场、四极、飞行时间原理。