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[经验] MEMSCAP三种MEMS工艺：SOIMUMPs、polyMUMPs、MetalMUMPs

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caroline11

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发表于 2021-11-23 18:48:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
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MEMSCAP三种MEMS工艺：SOIMUMPs、polyMUMPs、MetalMUMPs。包括MEMS工艺流程的详细说明、L-edit文件。感兴趣的可以看看哈

eetop.cn_MetalMUMPs.rar

3.37 MB, 下载次数: 4

eetop.cn_SOIMUMPs.rar

3.45 MB, 下载次数: 4

eetop.cn_polyMUMPs.rar

9.92 MB, 下载次数: 5

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