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layout中contact上增加opc层的两种方法

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发表于 2021-11-18 13:30:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
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最近遇到工艺中需要在contact 脚上增加opc层,尝试了两种方法,大家供大家交流参考。

方法1:使用脚本
在CIW中load “create_opc.il” 然后在版图窗口中选中需要增加OPC的图形(可多选),然后按F9就可以了。
只需要修改create_opc.il中红圈中的三个参数  deltaA deltaB  的数值,以及需要的layer层到自己需要的参数即可。

eetop.cn_create_opc.rar

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