[课件]微电子技术发展的规律及趋势

CircuitExp.

21世纪硅微电子技术的三个主要发展方向：


特征尺寸继续等比例缩小；
集成电路(IC)将发展成为系统芯片(SOC)；
微电子技术与其它领域相结合将产生新的产业和新的学科，例如MEMS、DNA芯片等。

第一个关键技术层次：微细加工


目前0.25mm和0.18m m已开始进入大生产
0.15m m和0.13m m大生产技术也已经完成开发，具备大生产的条件
当然仍有许多开发与研究工作要做，例如IP模块的开发，为EDA服务的器件模型模拟开发以及基于上述加工工艺的产品开发等
在0.13-0.07um阶段，最关键的加工工艺—光刻技术还是一个大问题，尚未解决

第二个关键技术：互连技术


铜互连已在0.25/0.18um技术代中使用；但是在0.13um以后，铜互连与低介电常数绝缘材料共同使用时的可靠性问题还有待研究开发

第三个关键技术


新型器件结构
新型材料体系
高K介质
金属栅电极
低K介质
SOI材料

conpactor

xhseu

cherryboy-48144

HAO

jttjtl-63040

好啊！

wjjxw2007

学习一下,长长见识!

funny2055

我是初學者,謝謝大大提供資訊

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