分析型探针台

123-401370

 
APS分析型探针台
 
一、基本配置信息：
1.探针台本体：
* Analysis 6" Probe Station(分析型6"探可选8”、12”)
* 6" vacuum chuck（6"真空卡盘）)(可选8”、12”)
* Ball screw drived chuck stage （滚珠丝杆精密调节平台）
* Chuck stage travel X,Y 150mm （卡盘平台X，Y行程150mm）
根据需求行程可选200mm(APS 200型)或其它
* Manual chuck theta adjustment （手动卡盘旋转调整）精度：+/-0.1度（旋转）
* Chuck up-down 5mm (卡盘升降5mm行程) 升降台调节精度：15度，；4mm，+/-1um（垂直）
* Microscope stage travel X,Y 25mm（显微镜载物台X，Y行程25毫米）。调节精度：+/-1um
 
2.探针座：DC Probe Head 探针座(可选其它精度探针座及RF高频探针座)
* Foot dimension(底部尺寸)          70 x 35mm
* Travel range(X,Y轴行程范围)       12mm
* Travel range(Z轴行程范围)         12mm
* Feature Resolution(精度)           3um
* Vacuum base(磁吸附)
注：磁吸附系配置最新设计开关磁吸装置；可选择真空吸附；
仰角裝置，可对夹持的探针进行仰角角度的调节；
 
3. 显微镜： Stereo type系列连续变倍体视显微镜
* Eyepiece (目镜) 20X ~ 2 pcs
* Zoom(变倍率) : 0.65X to 4.5X
* Total Mag（总倍率） :10X to 300X
* Working distance（工作距离） : 96mm
* 附加物镜: 0.5X, 1.5X, 2X
* 环型接口＋环形荧光灯8W
* 照相接口、CCD接口、数码相机接口
 
4. CCD：C-MOS camera 1/2 300万像素
 
二、规格：
 

组件/型号	APS 150	APS 200
真空吸附卡盘	150mm 不锈钢	200mm 不锈钢
主体平台XY移动行程	149mm*150mm	199mm*200mm
旋转角度	0-30O	0-30O
Z轴行程	5mm	5mm
显微镜平台移动行程	25mm*25mm	25mm*25mm
探针台本体	固定式	固定式
样品尺寸	5*5至150mm	5*5至200mm
真空卡盘平坦度	10um	10um
尺寸	580*460*700（mm）	660*660*700（mm）
重量	60kg	80kg

andy-401373

好像很专业哦