这种低温分子泵在真空既提高了生产效率又改善了膜层质量

xulinfang0818

 
目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很调节阀快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由控制阀于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温电动调节阀泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分气动调节阀子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
在真空试验中，被抽空的系统虽然一般认为是不危险的，电动紧急切断阀其实仍然隐含有两种危险，一种是被压碎（内爆），一种是人们进入即使已经与大气相通的容器中可能发生的危险，因为大多数真空试验使用了包含像氦、氮和氢气这些不能维持生命的气体，导致容器内不含有足够可吸入的空气而引起窒息.
“内爆”指的是被检对象由于自身刚度不足以支撑大气压而发生变形、扭曲、爆裂等情况，从而导致被检电动三通切断阀工件不能正常密封，检漏工作无法进行或工件报废、仪器损毁甚至威胁到检漏人员的人身安全，故对这类被检对象在检漏时应采取相应的预防措施。
因波纹管壁厚与接口法兰厚度相差很大，焊接时受热不均，使波纹管易被烧穿，接头成形困难[2]，故通常在波纹管口加装衬环，以改善焊接时热传递的不平衡，则可以利用衬环做检漏支撑端，卡盘卡住波纹管两端衬环，因为衬环较薄，故卡盘CV3000调节阀尺寸和波纹管直管部分需吻合，卡盘中间放置支撑，支撑的高度一般比波纹管在常压下的自由尺寸略小即可。当检漏仪对波纹管抽气时，波纹管受到负压收缩，衬环与卡盘贴合形成一个整体，由于支撑作用，使波纹管的变形受到抑制，从而顺利完成检漏。
国外干式机械CV3000真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。
为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵阀门附件全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。