利诺伊大学香槟分校的研究人员已经设计出一种将电容器和电感器结合在一个微小的3D卷式薄膜中的方法。这样可以节省电话和其他无线设备中的电子过滤器中的空间。它们消除或增强了特定的输入信号以获得最佳的输出信号。这些滤波器虽然必不可少,但却占据了研究人员不断缩小尺寸的芯片上的空间。 在实验室中,该团队使用专门的蚀刻和光刻工艺将2D电路图案化到薄膜上。在电路中,它们将电容器和电感器与地线或信号线连接在一起,全部在一个平面上。然后将多层膜卷成细管并置于芯片上。 研究人员和研究生Mark Kraman说:“可以对用于在2D膜层上形成电路的图案或掩模进行调整,以提供我们对特定设备所需的任何类型的电相互作用。” “使用这种技术,使用不同的滤波器设计进行实验相对简单,因为我们只需要修改掩模结构即可进行更改。” 该团队测试了滚动部件的性能,发现该滤波器适合于1至10 GHz频率范围内的应用。尽管这些设计用于RF通信设备,但该团队相信,根据过去的项目在开发大功率电感器方面的往绩,其他频率(包括兆赫兹范围)将可能实现。 在单个圆柱形管状部件上组合电容器和电感器,首先使用电子束蒸发和光刻技术沉积金属,以定义金属图案和蚀刻工艺。最后的蚀刻步骤触发了堆叠膜的自卷过程。 该小组正在研究几种简单的滤波器设计,但说理论上可以使用相同的过程来组合滤波器网络。研究人员认为,他们将电感器和电容器整体结合的方法可以将无源电子电路提高到一个全新的水平。
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